Le groupe Micro et Nano Systèmes (NAM6) développe une expertise de renommée internationale depuis de nombreuses années, principalement dans le domaine du micro-actionnement, des micro-capteurs, des dispositifs résonants et des principes de transduction. L’objectif principal du groupe NAM6 est de relever des défis pour établie un nouvel état​​ de l’art dans le domaine des micro-et nano- systèmes électromécaniques (MEMS et NEMS) en poursuivant une stratégie en trois volets:

1. bénéficier de la synergie entre les compétences et savoir-faire des membres du groupe et l’environnement de l’IEMN en physique appliquée, composants électroniques, instrumentation scientifique, modélisation, procédés technologiques, micro-nano-fabrication, et caractérisation électrique;
2. définir les orientations et les objectifs de la recherche en s’appuyant sur un équilibre pragmatique entre des considérations technologiques et scientifiques et des enjeux applicatifs;
3. aborder les thèmes de recherche allant de la compréhension fondamentale et la modélisation physique, à la fabrication et l’évaluation des dispositifs, et à l’intégration système et le transfert technologique potentiel.

En s’appuyant sur les moyens technologies des salles blanches de l’IEMN, les micro-et nano-technologies de fabrication et d’usinage ont été  utilisées pour explorer et convertir les effets physiques et les propriétés des matériaux dans des dispositifs et des microsystèmes pour des applications.

Main topics :

1. Innovative Micro and Nanofabrication
2. Gallium Nitride MEMS
3. Probes for AFM microscopy based on MEMS with integrated transducers
4. Probes for multimodal measurements
5. Instrumentation combining RF, MEMS and near field
6. MEMS formicrowave optomechanics