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Dépôt chimique en phase vapeur
Dépôts physiques sous vide
Dépôts alternatifs & traitements thermiques
Dépôts de couches minces organiques
Epitaxie
La centrale de micro nanofabrication offre une large palette de techniques de dépôts de couches minces permettant de couvrir une grande variété de propriétés des matériaux. Depuis plusieurs années, nous avons capitalisé un savoir faire dans de nombreux domaines tels que :
– les dépôts de matériaux pour l’énergie en couches conformes atomiques ou minces
– la technologie silicium utilisant des procédés de dépôts thermiques ou basse température
– les multicouches de matériaux magnétiques et multi-ferroïques nanostructurées
– les dépôts organiques pour les biosystèmes ou l’électronique organique et moléculaire
– les épaississements électrochimiques
– les dépôts métalliques servant à contacter les couches actives des composants de plusieurs filières (Si, III/V, III/N)
– la croissance et l’intégration de graphène monocouche ou multicouche dans les composants
– les dépôts localisés en écriture directe par impression jet d’encre sur flexible
Ces activités reposent sur un ensemble de techniques regroupées en 4 domaines : les dépôts chimiques en phase vapeur, les dépôts physiques sous vide, les dépôts de couches minces organiques et les dépôts électrochimiques et impression jets d’encre.
Contacts :
Isabelle ROCH
Responsable
Christophe COINON
Responsable
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