Dual Beam Microscopy (MEB – FIB)

Zeiss – Crossbeam 550 L – Characteristics :

Electron column (SEM) :

  • Electron source : Field effect gun (FEG)
  • Accelerated voltage : 20V to 30kV
  • Probe Current : 3 pA to 40 nA
  • Scanning resolution (SEM) : 0.9nm
  • Transmission resolution (STEM) : 0.6nm

Ion column (FIB) :

  • Ion source : Gallium liquid metal ion source (LMIS Ga+)
  • Accelerated voltage : 500V to 30kV
  • Probe Current : 1pA to 100nA
  • FIB resolution :        3nm at 30kV
  • 120nm at 1kV
  • 330nm at 500V

Gaz injectors (x2) : Platinum, Carbon, Tungsten, …

Micromanipulators : Kleindiek

Laser Femtosecond :

  • Localisation : Airlock chamber
  • Focus diameter : < 15 μm
  • Pulse duration : < 350 fs
  • Pulse repetition rate : 0.1 – 1000 kHz
  • Scan Speed : 0.1 – 9000 mm/s
  • Scan Field : 40 x 40 mm

Detectors :

  • SE (Secondary electrons)
  • BSD (Backscattered electrons)
  • InLens (Secondary and backscattered electrons)
  • STEM (Transmission electrons)
  • EDX (Oxford Ultimax 100), EBSD (Oxford Symmetry)

Stage :

  • 6-axes motorised super eucentric
  • Movements : X = 153mm, Y = 153mm, Z = 50mm , M = 20mm
  • Tilt= -15 to 70°  – Rotation = 360° continuous

1. Réalisation d’une pointe Chrome à l’aide d’un Laser femtoseconde

2. Découpe laser d’une batterie pour analyse Synchrotron

Contact : David TROADEC