La centrale de micro et nano fabrication de l’IEMN possède de nombreux outils de caractérisation de surface afin de contrôler la validité d’un procédé en cours de fabrication.

– Mesure de hauteur de marches (résines, gravures, métallisation) avec une gamme de mesures en Z allant du nanomètre à plusieurs millimètres par différents appareils (AFM, Profilomètres optiques ou mécanique)

– Représentation en 3 dimensions avec possibilité de reconstruction d’images (stitching) sur de grands objets (étude de morphologie ou de topographie par AFM, Fogale ,…)

– Mesure de rugosité de surface (RMS, Ra, …)

– Mesures d’épaisseur de matériaux semi-transparents par réflectométrie et éllipsométrie.

Tous ces outils sont situés en salle blanche et sont accessibles librement après formation par un ingénieur de la centrale