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PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
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PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION

Propriétés optiques et spectroscopies

Le pôle caractérisation in-line de la CMNF dispose de plusieurs équipements permettant d’accéder aux principales propriétés optiques et spectroscopiques des couches, nanostructures ou composants réalisés dans la plateforme.

Nos 2 ellipsomètres spectroscopiques (Horiba) donnent accès dans une large gamme de longueurs d’ondes (200nm à 2µm) aux indices optiques complexes d’empilements de couches minces, en mode localisé ou cartographie. Ils permettent également d’évaluer d’autres paramètres tels que valeurs de bandes interdites des matériaux,…

Plusieurs techniques spectroscopiques standard sont également accessibles afin de déterminer absorptions optiques, réflectivité, photoluminescence,…Nous sommes également équipés d’une plateforme de caractérisation de couches photovoltaiques, avec notamment la cartographie de photo-courant induit et réflectivité.

Un banc de mesure de photoluminescence équipé d’un laser à argon ionisé et d’un laser YAG (Spectra-Physics) permet de travailler sur des matériaux à faible ou à large bande interdite, à basse température ou à température ambiante, en photoluminescence ‘classique’ ou en excitation de photoluminescence (voir site web du groupe EPIPHY).

Le banc femtoseconde composé d’un laser titane-saphir (Spectra-Physics) délivre des impulsions de 100 fs de durée. Il est accordable de 700 à 1000 nm. Il peut être utilisé pour des expériences de type pompe-sonde ou térahertz. Il peut également pomper un oscillateur paramétrique optique synchrone et dans ce cas, la gamme couverte va de 1 à 1,6 µm et la durée des impulsions est de 200 fs. (voir site web du groupe EPIPHY).

Un nouveau spectromètre infrarouge à transformée de Fourier (FTIR) à trois gammes MIR/NIR/FIR – Perkin Elmer s’étend dans la gamme spectrale de 15000 cm-1 à 30 cm-1. Il comprend différents accessoires disponibles pour l’analyse des matériaux (solides ou liquides) ou des surfaces (films moléculaires, polymères) via différentes techniques : mode transmission, mode ATR, réflexion spéculaire à angle variable.

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