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PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
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PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION

Croissance épitaxiale

3 bâtis permettent la croissance de semiconducteurs, pour la réalisation d’hétérostructures complexes, de nanostructures ou pour l’étude des matériaux 2D. Un premier réacteur est dédié aux matériaux III-V, arseniés, phosphorés et antimoniés. Le deuxième est réservé à l’étude des matériaux 2D à base de dichalcogénures de métaux de transition. Ces deux bâtis sont reliés entre eux, ainsi qu’à une chambre d’analyse XPS. Un troisième réacteur est dédié à la croissance de graphène et de h-BN.

En plus de ces moyens de croissance, nous disposons d’outils de caractérisation des matériaux pour l’étude des propriétés structurales, optiques et électriques. De plus amples informations sont disponibles dans la rubriques « caractérisations ».

D’autres informations sont également disponibles sur le site du groupe EPIPHY (Contact : Ludovic Desplanque, responsable de groupe)


Perspectives 2025-2026

Upgrade du parc d’équipements avec l’arrivée de deux nouveaux réacteurs d’épitaxie par jets moléculaires (EJM), pour composants hautes performances, études exploratoires, traitement de surface à haute température, croissances localisées.

Mise en service prévue en 2026.

Croissance localisée InAs/GaSb

W Khelifi et al 2023 Nanotechnology 34 265704

Expertises et savoir-faire: quelques points marquants

 

Hétérostructures III-V pour l’électronique et l’optoélectronique

•Hétérostructures complexes (transistors bipolaires ou à effet de champ par exemple).
•Croissance de matériaux phosphorés pour l’optoélectronique
•Croissance de matériaux à temps de vie court, notamment de GaAs basse température, avec un excellent contrôle de la reproductibilité

 

Nanostructures et croissance sélective

•Epitaxie sélective sur substrats couverts de masques diélectriques gravés
•Nanostructures de semiconducteurs III/V alliant arseniures, phosphures et antimoniures

 

Croissance 2D : Graphène, h-BN, Dichalcogénures de métaux de transition

•Etude des Dichalcogénures de métaux de métaux de transition (TMDC)
•Croissance de graphène sous ultra-vide, par graphitisation du SiC ou épitaxie par jets moléculaires.
•Analyse UHV couplée au bâti de croissance Gr/h-BN (LEED/Auger).

 

Contacts:  Christophe Coinon – Responsable épitaxie
Ludovic Desplanque, Xavier Wallart – Groupe EPIPHY
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