Par leur dimension et leur structure, les nano-composants électroniques nécessitent de développer des bancs adaptés à leurs petites tailles, hautes impédances et faibles capacités.  C’est dans cette optique que la plateforme de caractérisation RF-MEMS a fait l’acquisition et le développement de trois instruments.

• Un microscope électronique instrumenté avec des micro-sondes conçues et fabriquées à l’IEMN, permettant de faire des mesures hyper-fréquences jusqu’à 20 GHz
• Un module s-SNOM (Scattering Scanning Near-Field Optical Microscope) adapté à l’imagerie dans les domaines Moyen Infra-rouge et TéraHertz (dont les sources peuvent être utilisées également pour des expériences autres que SNOM)
• Un microscope à force atomique 5600 Keysight couplé aux mesures en micro-ondes avec un interféromètre (2-18 GHz) pour la mesure de capacités de l’ordre de l’attoFarad

Nano prober Caractérisation Nano-HF

Le Nanoprober permet la caractérisation Hyper-fréquence jusqu’à 20 GHz de nanocomposants en s’affranchissant des effets parasites provoqués par les plots d’accès traditionnels aux dimensions et caractéristiques électriques inadaptés à l’électronique nanométrique. Pour se faire, des micro-sondes coplanaires ont été conçues et fabriquées à l’IEMN avec des dimensions permettant de réduire d’un facteur 20 la taille et le pitch des plots d’accès.

Des nanopositionneurs permettent des déplacements d’une dizaine de millimètres avec une résolution nanométrique. Un posé automatisée sécurise le posé afin de préserver les sondes et les composants. Le dispositif de caractérisation est incorporé dans un microscope électronique à balayage assurant la résolution nécessaire à l’observation des nanocomposants et au posé des sondes GSG sur les plots miniaturisés.

Cet équipement a été acquis et développé dans le cadre de l’Equipex Excelsior.

Contacts : Gilles DAMBRINE gilles.dambrine@iemn.univ-lille1.fr 03 20 19 78 65
Sophie ELIET sophie.eliet@iemn.univ-lille1.fr 03 20 19 79 30