Caractérisations structurales
Propriétés électriques
Propriétés optiques et spectroscopies
Topographie Morphologie
Caractérisation physico-chimique
Qu’ils soient utilisés lors de contrôles non destructifs en cours de fabrication ou lors de caractérisations avancées de procédés, la centrale CMNF dispose d’une large palette d’équipements de caractérisation de micro-nanostructures et de composants. Nos nombreux outils de caractérisation peuvent exploiter des mécanismes optiques, électriques, mécaniques pour des observations à différentes échelles (nanométrique à macroscopique, surface à bulk). Ces équipements permettent de caractériser les différentes opérations technologiques telles que dépôts, gravures, recuits, permettent de mesurer des épaisseurs, de contrôler l’état de surface, la morphologie et les dimensions des motifs réalisés.
Contact :
Christophe Boyaval
Responsable