La plateforme de nano-caractérisation RF-MEMs est équipée de nombreux instruments de mesures tels que alimentations programmables, analyseurs de réseaux vectoriels, mesureurs du facteur de bruit  permettant d’effectuer la caractérisation statique et hyperfréquence jusque 110GHz en régime petit signal de composants (actifs ou passifs).

Statique

Mesure incontournable pour tout composant électrique, les caractéristiques statiques s’effectuent avec une multitude d’équipement disponible. Les montages peuvent aussi se décliner sous plusieurs configuration que ce soit pour une étude de caractéristique ou pour alimenter des circuits complexes. Connectorisé ou sur tranche, d’une single probe aux pointes multicontacts (jusqu’à 32pins), nous pouvons effectué les caractéristiques statiques permettant d’identifier les performances et les disparités de fabrication ainsi que la robustesse des composants.

• i(V) jusqu’à 10kV en température
• i(V) pulsé sous vide
• C(V) à 40V, C(f) à 110MHz sous éclairement (mesures DC possible sous éclairement solaire ou laser)

Petit signal

Pour faire un retour technologique dès la sortie de fabrication de la CMNF ou pour établir des schémas électriques équivalents de transistor pour le design de circuit complexe (convertisseur de fréquence, amplificateur, micro processor…) les mesures petit signal jusqu’à 110GHz sont au cœur de l’expertise de la plateforme de nano caractérisation RF-MEMs. Ces mesures sont réalisées sous divers environnement contrôlé et configuration :

• Sur tranche en pulsé
• En coaxial en température
• En guide d’onde
• En espace libre

Facteur de Bruit

Pour l’extraction des quatre paramètres de bruit [gamma opt, Nfmin et Rn] de dispositifs semi-conducteur étudiés, la plateforme de nano-caractérisation RF-MEMs dispose de plusieurs bancs de mesure automatisés permettant d’effectuer la mesure du gain disponible et du facteur de bruit (Noise Figure) de composants hyperfréquences sous pointes ou en boîtier selon les gammes de fréquences suivantes :

• 6-40GHz: NF50 et Tuner
• 75-110GHz: NF50
• 130-170GHz: NF50
• 170-260GHz: NF50 (en cours de développement)