La centrale de micro et nano fabrication de l’IEMN possède de nombreux outils microscopie et de caractérisation de surface afin de contrôler la validité d’un procédé en cours de fabrication.

•  Mesure de hauteur de marches (résines, gravures, métallisation) avec une gamme de mesures en Z allant du nanomètre à plusieurs millimètres par différents appareils (AFM, Profilomètres optiques ou mécanique)
•  Représentation en 3 dimensions avec possibilité de reconstruction d’images (stitching) sur de grands objets (étude de morphologie ou de topographie par AFM, Fogale ,…)
• Mesure de rugosité de surface (RMS, Ra, …)
• Mesures d’épaisseur de matériaux semi-transparents par réflectométrie et éllipsométrie.

• Deux microscopes numériques Keyence VHX6000 et VHX7000 : reconstruction d’image sur 750 mm (reconstruction). Mesure de hauteur par delta de position de Z. Imagerie en tilt.

En termes d’observation et validation des process nanométriques du laboratoire, nos microscopes électroniques à balayage ( Zeiss Ultra55/EDS Bruker, Zeiss Supra55VP/EBSD Oxford) permettent d’observer et de dimensionner des dispositifs, dont la taille est de l’ordre de la dizaine de nanomètres. L’observation de surface ou de coupe clivée est possible sur tout type de matériaux isolants (résines, oxydes ou nitrures) ou conducteurs (substrats Si ou III/V, métallisations,…). La gamme des tensions d’accélérations (200V à 30kV) permet toutes les observations sans métallisation en cours de process.

Tous ces outils sont situés en salle blanche et sont accessibles librement après formation par un ingénieur de la plateforme