Caractérisation de microsystèmes électromécaniques(MEMS)

 

Caractérisation de microsystèmes électromécaniques (MEMS) - 1

 

Une station sous pointes est dédiée à la caractérisation de dispositifs microsystèmes afin d’étudier les propriétés des micro-actionneurs et des micro-capteurs. Les performances d’actionneurs basés sur des effets électrostatiques, thermiques ou piézoélectriques sont couramment mesurées. Un montage utilisant des amplificateurs courant/tension associés à une détection synchrone permet le traitement des signaux de micro-capteurs capacitifs différentiels et donne accès à des déplacements de microstructures avec une précision nanométrique. Une part importante de l’activité concerne la caractérisation de microrésonateurs électromécaniques dans la gamme de quelques centaines de kHz jusque 1 GHz et fait appel selon la fréquence à une détection synchrone (2 MHz max), un impédancemètre (110 MHz max) ou à des analyseurs de réseaux. Dans le cadre de caractérisation de micro-commutateurs RF, la caractérisation électromécanique de l’actionneur du micro-commutateur est couplée à la caractérisation hyperfréquence du dispositif grâce aux moyens de caractérisation présentés précédemment.

 

Une station sous pointes est dédiée à la caractérisation de dispositifs microsystèmes afin d’étudier les propriétés des micro-actionneurs et des micro-capteurs. Les performances d’actionneurs basés sur des effets électrostatiques, thermiques ou piézoélectriques sont couramment mesurées. Un montage utilisant des amplificateurs courant/tension associés à une détection synchrone permet le traitement des signaux de micro-capteurs capacitifs différentiels et donne accès à des déplacements de microstructures avec une précision nanométrique. Une part importante de l’activité concerne la caractérisation de microrésonateurs électromécaniques dans la gamme de quelques centaines de kHz jusque 1 GHz et fait appel selon la fréquence à une détection synchrone (2 MHz max), un impédancemètre (110 MHz max) ou à des analyseurs de réseaux. Dans le cadre de caractérisation de micro-commutateurs RF, la caractérisation électromécanique de l’actionneur du micro-commutateur est couplée à la caractérisation hyperfréquence du dispositif grâce aux moyens de caractérisation présentés précédemment - 2