A.SALHAB

Soutenance : 4 février 2022
Thèse de doctorat en Micro-nano systèmes et capteurs, Université Polytechnique Hauts de France,
Projets associés : RENATECH, Laboratoire commun STMicroelectronics-IEMN T3

Résumé :

Dans l’industrie des semi-conducteurs, un nettoyage efficace des contaminations par voie humide est un facteur déterminant pour garantir la bonne qualité des produits électroniques. Le cycle entre les processus de mouillage et de séchage peut alors créer plusieurs problèmes dans les structures micro/nanométriques à rapport d’aspect élevé. Dans ce travail de thèse, nous présentons la caractérisation due mouillage dynamique de fluides au sein de structures

Abstract :

In the semiconductor industry, effective cleaning of wet contamination is a critical factor in ensuring the quality of electronic products. The cycle between the wetting and drying processes can then create several problems in high aspect ratio micro/nanometer structures. In this thesis, we present the characterization of dynamic wetting of fluids within structures