MEMS probe skate

Steve Arscott a récemment publié un article intitulé “Skate, overtravel, and contact force of tilted triangular cantilevers for microcantilever-based MEMS probe technologies” dans la revue Scientific Reports. Cet article propose un modèle évolutif décrivant la relation entre le patinage, la surcourse et la force de contact des sondes MEMS (MicroElectroMechanical Systems) basées sur des cantilevers de forme triangulaire en grande flexion (voir la figure).

Les résultats devraient être utiles aux ingénieurs d’essai et aux concepteurs de sondes MEMS impliqués dans les essais électriques sur puce. Les travaux ont été menés en prévision du projet ANR PRECISE, qui est mené en collaboration avec l’Université de Bordeaux, l’Université de Grenoble-Alpes et la société MC2. L’idée du projet est, entre autres, de produire une nouvelle génération de sondes électriques à base de MEMS pour la caractérisation à haute fréquence sur la puce.

Plus d’ informations :

https://www.nature.com/articles/s41598-022-23973-5