Maxime Hallot, lauréat du prix de thèse C’Nano 2020 du CNRS
Maxime Hallot, chercheur Post doctoral à l’IEMN vient d’être récompensé pour l’ensemble de ses travaux de recherche sur les micro-batteries 3D Li-ion.
Ces travaux avaient pour but de réaliser la synthèse de couches minces de matériaux de batteries par PVD (dépôt physique en phase vapeur) et ALD (dépôt par couche atomique). Ces dépôts ont été réalisés sur substrats de silicium planaires mais aussi sur des architectures tridimensionnelles complexes comme illustré sur la figure ci-dessous. Cette architecture particulière permet de déployer une surface d’échange 50 à 80 fois plus grande entre les électrodes par rapport à une micro-batterie planaire équivalente. L’objectif final de ce travail de thèse a été de montrer la fabrication de micro-batteries 3D tout solide en technologie Lithium-ion.
Figure 1. A. Vue en coupe d’une structure tridimensionnelle après gravure profonde (DRIE) du substrat de silicium au Microscope électronique à balayage
B. Vue en coupe de la micro-batteries après l’empilement de 6 couches successives par ALD sur la structure 3D (Subs: Substrat, is: couche isolante, cc: collecteur de courant, E+ et E-: électrodes positive et négative respect. et ES: Electrolyte Solide).
