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PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
Slide thumbnailPLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION
PLATEFORME : CENTRALE DE MICRO NANO FABRICATION

Ressource Soft-Lithographie

Création d’une nouvelle ressource faisant partie intégrante de la CMNF (Centrale de Micro-Nano-Fabrication), pour l’élaboration et la caractérisation de dispositifs microfluidiques

  • Au sein de cette ressource, une commande à fraiseuse numérique placée en back-end permet l’usinage de composants fluidiques (puces notamment), ou mécanique (moule par exemple) en polymères ou autres matériaux durs
  • Un poste dédié à la fabrication de polymères (PDMS essentiellement) comprend tout le matériel nécessaire pour la formulation des mélanges de polymères (mélangeur planétaire, balance de précision, dégazeur, étuve, spin-coater…)
  • Grâce au bâti plasma PICO, le nettoyage ainsi que l’activation des surfaces est possible
  • Une station dédiée à la xurographie permettra la découpe de films minces de polymères à l’aide d’un couteau traçant
  • Un goniomètre KRUSS est également à disposition afin de permettre la caractérisation de surface pour des mesures de type mouillabilité et angles de contact
  • Enfin, un poste dédié au contrôle des puces en fin de process est équipé d’un contrôleur en pression ainsi que d’un microscope stéréoscopique pour l’observation des dispositifs
Création d’une continuité technologique et scientifique entre la ressource de soft-lithographie et le laboratoire de Bio-Microfluidique

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aude.sivery@univ-lille.fr

jerome.follet@univ-lille.fr

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