Dépôt par pulvérisation cathodique et ALD de matériaux d’électrodes et d’électrolyte solide pour micro-supercondensateurs et micro batteries
– Familles : VN, Li3PO4 et d’Al2O3
– Collaborations : RS2E, IMN, UCCS, CIRIMAT, ICGM
– Projets : ANR Cassiopes, ANR DENSSCAPIO
– Fait saillant : caractérisation de la qualité des interfaces entre toutes les couches et de la conformité des dépôts (Small 18, 2107054 (2022))
