Dépôt par pulvérisation cathodique
– Familles : antiferroélectriques, piezoélectriques avec/sans plomb, diélectriques accordables
– Collaborations : SICCAS (Chine), CEA-LETI, ST micro (sites de Grenoble et Tours), 3D-oxydes, Nanovation, Véolia, CODEX International
– Applications : stockage d’énergie, dispositifs RF accordables, capteurs/actionneurs
– Fait saillant : accordabilité constant de 60% à 67 GHz sur un guide d’ondes coplanaire à base de BST
