Jury:

• Christophe LETHIEN, MCF, Université de Lille (Directeur de thèse)
• Marie Paule BESLAND, Directeur de Recherche, Institut des Matériaux Jean Rouxel UMR 6502 (Rapporteur)
• Thierry DJENIZIAN, Professeur, Université d’Aix-Marseille, AMU (Rapporteur)
• Laurence CROGUENNEC, Directeur de Recherche, Institut de chimie de la matièrecondensée, ICMCB, UMR 5026 (Examinateur)
• Thierry BROUSSE, Professeur, Institut des Matériaux Jean Rouxel IMN UMR CNRS 6502 (Examinateur)
• Pascal ROUSSEL, Directeur de Recherche, Unité de Catalyse et Chimie du Solide UMR 8181 (Examinateur)

Résumé :

Développements de techniques de synthèse (PVD, ALD) et de caractérisations de couches minces (CP, CV, EIS, DRX, XRR, XPS, Raman) pour la fabrication de micro-batteries tout solides sur substrats Silicium planaires et tridimensionnels préparés par DRIE pour l’Internet des Objets (IoT).

Abstract:

Development of thin-films by PVD and ALD for 2D and 3D all solid state microbatteries on Silion substrates for Internet of things (IoT). Thin films were characerized by structurals and electrochemicals techniques such as CV, CP, EIS, Raman, XPS, DRX, XRR…