Soft-Lithographie

Création d’une nouvelle ressource faisant partie intégrante de la CMNF, pour l’élaboration et la caractérisation de dispositifs microfluidiques

Au sein de cette ressource, une commande à fraiseuse numérique placée en back-end permet l’usinage de composants fluidiques (puces notamment), ou mécanique (moule par exemple) en polymères ou autres matériaux durs
Un poste dédié à la fabrication de polymères (PDMS essentiellement) comprend tout le matériel nécessaire pour la formulation des mélanges de polymères (mélangeur planétaire, balance de précision, dégazeur, étuve, spin-coater…)
Grâce au bâti plasma PICO, le nettoyage ainsi que l’activation des surfaces est possible
Une station dédiée à la xurographie permettra la découpe de films minces de polymères à l’aide d’un couteau traçant
Un goniomètre KRUSS est également à disposition afin de permettre la caractérisation de surface pour des mesures de type mouillabilité et angles de contact
Enfin, un poste dédié au contrôle des puces en fin de process est équipé d’un contrôleur en pression ainsi que d’un microscope stéréoscopique pour l’observation des dispositifs