Soft-Lithographie
Création d’une nouvelle ressource faisant partie intégrante de la CMNF, pour l’élaboration et la caractérisation de dispositifs microfluidiques
- Au sein de cette ressource, une commande à fraiseuse numérique placée en back-end permet l’usinage de composants fluidiques (puces notamment), ou mécanique (moule par exemple) en polymères ou autres matériaux durs
- Un poste dédié à la fabrication de polymères (PDMS essentiellement) comprend tout le matériel nécessaire pour la formulation des mélanges de polymères (mélangeur planétaire, balance de précision, dégazeur, étuve, spin-coater…)
- Grâce au bâti plasma PICO, le nettoyage ainsi que l’activation des surfaces est possible
- Une station dédiée à la xurographie permettra la découpe de films minces de polymères à l’aide d’un couteau traçant
- Un goniomètre KRUSS est également à disposition afin de permettre la caractérisation de surface pour des mesures de type mouillabilité et angles de contact
- Enfin, un poste dédié au contrôle des puces en fin de process est équipé d’un contrôleur en pression ainsi que d’un microscope stéréoscopique pour l’observation des dispositifs