Projet ANR JCJC

DACLOS

Diffuse Acoustic wave Correlation for Layer-On-Substrate structures
  • Coordinateur : Lynda Chehami, HDR
  • Durée : 01/03/2022 – 31/08/2025
  • Budget : 172 400 euros

Ce projet ouvre la voie à une technique originale d’auscultation de microstructures basée sur la corrélation d’ondes diffuses.
L’objectif est le contrôle et l’évaluation non destructifs des échantillons couche-sur-substrat. Actuellement, une possibilité pour inspecter ces structures consiste à utiliser des IDTs en émission et de la vibrométrie laser en réception. La mise en œuvre de la corrélation des ondes acoustiques diffuses et du principe associé de reconstruction de la fonction de Green passive devrait permettre de détecter et d’imager des hétérogénéités en 2D.
Des applications prometteuses sur des plaques soumises à un bruit ambiant basse fréquence (10-30 kHz) ont été montrées. Compte tenu des dimensions des structures LOS, une telle analyse peut être menée à plus hautes fréquences (10-30 MHz), soit un facteur 1000 en fréquence. Ainsi, l’application de la technique DWC à l’échelle micrométrique nécessitera un bruit diffus artificiel, une instrumentation et un traitement adapté.

L’équipe DACLOS s’attends à plusieurs avantages, comme:  
  • La méthode proposée permettra de réaliser des controls sur des couches d’épaisseur caractéristique inférieure à la longueur d’onde de fonctionnement de l’instrument;
  • La mise en œuvre de la technique DWC permet une caractérisation 2D complète avec un nombre réduit de sources IDTs.
  • En raison de l’utilisation d’IDTs de contact, il n’y a pas de limitation sur le type de matériau de la couche. Par exemple, cela concerne les couches transparentes ou fragiles qui posent souvent des difficultés lors de l’utilisation d’autres méthodes de mesure telles que les ultrasons laser.
  • L’utilisation d’un vibromètre laser pour détecter les ondes diffuses permet d’obtenir une grande densité d’informations. Par conséquent, plusieurs traitements de signaux basés sur des algorithmes d’imagerie peuvent être appliqués et ainsi récupérer des informations significatives sur l’état de santé des échantillons de LOS.

CONTACT :

Dr. Lynda CHEHAMI
IEMN site de Valenciennes, Groupe TPIA
Université Polytechnique des Hauts de France
F-59313 Valenciennes cedex 9
Tel : +33(0)3 27 51 11 87
Lynda.chehami@uphf.fr

Institut d’Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, IEMN

Coordinateur : Dr. Lynda Chehami

Membres du projet : Marc Duquennoy, Emmanuel Moulin, et Nikolay Smagin

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