E.S.C.A.

Contact : site web du groupe EPIPHY

Le système d’analyse de surfaces (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) est connecté sous ultra-vide aux 2 bâtis d’épitaxie par jets moléculaires et à un sas d’introduction permettant l’analyse de tout type d’échantillons. La base est un système Physical Electronics type 5600 modifié au niveau mécanique par Sinvaco pour assurer la compatibilité avec les molyblocs 3 pouces MBE. Il est équipé :

• d’un manipulateur permettant les 3 translations et 2 rotations (polaire et azimutale)
• d’un analyseur hémisphérique de 150 mm de rayon
• d’une source standard de rayons X avec une Dual anode Al(1487eV)/Mg(1254 eV)
• d’une source de rayons X monochromatisée Al (1487 eV)
• d’un canon à électrons d’énergie maximale 8 keV ayant une taille de spot de l’ordre de 20 mm
• d’un canon ionique de pulvérisation d’énergie maximale 5 keV
• d’une source de rayons UV HeI (21.2 eV)
• d’un canon électronique de neutralisation pour l’analyse des isolants
• d’un diffractomètre d’électrons basse énergie (LEED)

En spectroscopie d’électrons induite par rayons X (XPS), la résolution ultime du système mesurée comme la largeur à mi-hauteur de la raie Ag 3d5/2 est de 0.45 eV.

Spectroscopie dispersive en énergie

Contact : Christophe BOYAVAL

Système EDS Xflash 4010 Bruker

Type SDD (Silicon Drift Detector)

Caractéristique

• Résolution du Mn Ka à 127 eV  de 0 à 100 000 cps

QUANTAX 200      Analyse chimique élémentaire

• Qualitative
• Quantitative
• Cartographie