Nous disposons également à l’iemn de quelques moyens de caractérisation des propriétés mécaniques de films minces ou composants MEMs-NEMs, telles que contraintes résiduelles de films, dureté, module élastique, caractérisations statiques et dynamiques (modes de vibration) des microsystèmes….

La nano indentation instrumentée (IIT) nous permet par exemple d’explorer les propriétés mécaniques de très petits volumes de matière (échelle sub-micrométrique), de caractériser mécaniquement des films minces. Les empreintes réalisées peuvent être espacées d’environ 1 micromètre permettant ainsi de cartographier spatialement avec très peu de préparation la distribution des propriétés mécaniques superficielles avec une bonne résolution. L’équipement exploité à l’IEMN permet une mesure dynamique des propriétés des matériaux, ainsi que l’imagerie de l’échantillon avant ou après l’indentation. Cette technique est très utile pour les NEMS et pour les matériaux viscoélastiques dont on peut notamment extraire le module de pertes.

La caractérisation sans contact et l’affichage 3D par un profilomètre-vibromètre optique interférométrique (ZoomSurf 3D Fogal) permet de réaliser les profils statiques et propriétés vibratoires des micro-systèmes, d’imager les contraintes mécaniques,…

La caractérisation sans contact de contraintes thermomécaniques sous air ou N2 est possible sur susbtrats jusqu’à 8″ (FSM 500TC): contraintes résiduelles des films minces, déformations par contraintes thermomécaniques jusqu’à 500°C,…