Nous disposons également en Centrale de Micro Nano Fabrication de moyens de caractérisation physicochimiques tels que l’XPS (spectroscopie d’électrons induite par rayons X) et l’EDS (Spectroscopie dispersive en énergie). Ce type d’analyses exploite la physique de l’interaction des photons à haute énergie avec la matière pour remonter à la constitution chimique de la matière analysée. L’analyse XPS fait apparaitre précisément la composition chimique, alors que l’EDX offre la possibilité de l’imagerie pour identifier les variations de composition chimique.
- Notre système XPS (Physical Electronics type 5600) est utilisé pour l’analyse de surfaces. Il est connecté sous ultra-vide à 2 bâtis d’épitaxie par jets moléculaires et à un sas d’introduction permettant l’analyse de tout type d’échantillons. De résolution ultime 0.45eV, il permet de déterminer la composition élémentaire, l’état chimique ou électronique sur de nombreux matériaux (MBE III-V, graphène, couches organiques…) et est couplé à un diffractomètre d’électrons basse énergie (LEED).
- Notre système EDS (Xflash 4010 Bruker) permet des cartographies d’analyses chimiques élémentaires (Qualitatives/Quantitatives).
