{"id":48811,"date":"2021-12-08T10:17:55","date_gmt":"2021-12-08T08:17:55","guid":{"rendered":"https:\/\/www.iemn.fr\/?p=48811"},"modified":"2021-12-10T15:12:59","modified_gmt":"2021-12-10T13:12:59","slug":"des-membranes-suspendues-usinees-par-ablation-laser-pour-booster-les-performances-des-circuits-radiofrequences","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/newsletter\/des-membranes-suspendues-usinees-par-ablation-laser-pour-booster-les-performances-des-circuits-radiofrequences.html","title":{"rendered":"Des membranes suspendues usin\u00e9es par ablation laser pour booster les performances des circuits radiofr\u00e9quences"},"content":{"rendered":"<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-2ql690r-e3526bf4312d183ad0e9d5e6110b59dd\">\n.flex_column.av-2ql690r-e3526bf4312d183ad0e9d5e6110b59dd{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-2ql690r-e3526bf4312d183ad0e9d5e6110b59dd av_one_full  avia-builder-el-0  el_before_av_one_full  avia-builder-el-first  first flex_column_div av-zero-column-padding'     ><section  class='av_textblock_section av-kwx9fg2f-620b1240208ae545042cda8e4edfc346'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><h3 style=\"text-align: center;\"><b>Des membranes suspendues usin\u00e9es par ablation laser pour booster les performances des circuits radiofr\u00e9quences <\/b><\/h3>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-1wrppbf-97b79571a96822a8227a89943dcdd208\">\n.flex_column.av-1wrppbf-97b79571a96822a8227a89943dcdd208{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-1wrppbf-97b79571a96822a8227a89943dcdd208 av_one_full  avia-builder-el-2  el_after_av_one_full  el_before_av_one_half  first flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwx9gt5g-ac0bc975c435b3d28b29529886ca22ef'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><blockquote>\n<p><strong>Pilot\u00e9e depuis les ann\u00e9es 70 par la miniaturisation monolithique des transistors (\u00e8re \u2018More-Moore\u2019), puis consolid\u00e9e par le second souffle des microsyst\u00e8mes au milieu des ann\u00e9es 90 (\u00e8re \u2018More-than-Moore\u2019), l\u2019industrie de l\u2019\u00e9lectronique fait face aujourd\u2019hui \u00e0 un nouveau d\u00e9fi, celui des syst\u00e8mes autonomes, fonctionnels et miniaturis\u00e9s, donnant naissance au paradigme \u2018System Moore\u2019.<\/strong><br \/>\n<strong>Dans ce contexte, l\u2019usinage laser compl\u00e8te le portfolio des proc\u00e9d\u00e9s de microstructuration en occupant le gap dimensionnel de l\u2019usinage entre le micron et le millim\u00e8tre que les proc\u00e9d\u00e9s micro\u00e9lectroniques laissent vacant. Cette \u00e9tude exp\u00e9rimentale montre comment l\u2019ablation laser permet de suspendre des puces \u00e9lectroniques radiofr\u00e9quences en membranes ultrafines, leur conf\u00e9rant ainsi des gains de performances \u00e9lectriques exceptionnels.<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n<\/div><\/section><br \/>\n<section  class='av_textblock_section av-kwxaltyd-870ae7394a5441247c146410777dc992'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><hr \/>\n<p>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-13ewzjw-624ccb7a8158fcee8a63f32bf5f84be9\">\n.av_font_icon.av-13ewzjw-624ccb7a8158fcee8a63f32bf5f84be9{\ncolor:#800000;\nborder-color:#800000;\n}\n.av_font_icon.av-13ewzjw-624ccb7a8158fcee8a63f32bf5f84be9 .av-icon-char{\nfont-size:30px;\nline-height:30px;\n}\n<\/style>\n<span  class='av_font_icon av-13ewzjw-624ccb7a8158fcee8a63f32bf5f84be9 avia_animate_when_visible av-icon-style- avia-icon-pos-left avia-icon-animate'><span class='av-icon-char' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue80b' data-av_iconfont='entypo-fontello' ><\/span><\/span>Arun Bhaskar, Justine Philippe, Flavie Braud, Etienne Okada, Vanessa Avramovic, Jean-Francois Robillard, Cedric Durand, Daniel Gloria, Christophe Gaquiere, and Emmanuel Dubois, Large-area femtosecond laser milling of silicon employing trench analysis, OPTICSAND LASER TECHNOLOGY 138 (2021).<\/p>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-1laaauj-0f632c6fb1a9508c5b33e1ed93761d09\">\n.flex_column.av-1laaauj-0f632c6fb1a9508c5b33e1ed93761d09{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-1laaauj-0f632c6fb1a9508c5b33e1ed93761d09 av_one_half  avia-builder-el-6  el_after_av_one_full  el_before_av_one_half  first flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwx9jdm8-e4f451ebf847f5ea1c7cf35e4d33e1e7'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514\">\n.av_font_icon.av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514{\ncolor:#800000;\nborder-color:#800000;\n}\n.av_font_icon.av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514 .av-icon-char{\nfont-size:20px;\nline-height:20px;\n}\n<\/style>\n<span  class='av_font_icon av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514 avia_animate_when_visible av-icon-style- avia-icon-pos-left avia-icon-animate'><span class='av-icon-char' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue810' data-av_iconfont='entypo-fontello' ><\/span><\/span><strong><span style=\"color: #800000;\">L\u2019usinage laser comble le gap \u00b5m-mm.<\/span><\/strong><br \/>\nLes syst\u00e8mes ultra compacts, tels que les \u2018smartphones\u2019 ou les \u2018smartwatches\u2019 int\u00e8grent une kyrielle de composants et capteurs couvrant des dizaines de fonctions de communication, de traitement de signal et de d\u00e9tection. Ces composants sont, dans la majorit\u00e9 des cas, issus de technologies dissemblables n\u00e9cessitant un assemblage h\u00e9t\u00e9rog\u00e8ne. Le vocable \u2018System Moore\u2019 d\u00e9signe ce nouveau paradigme d\u2019int\u00e9gration ultra compacte des syst\u00e8mes \u00e9lectroniques. Il place le packaging au centre des enjeux, non plus comme une simple fonction d\u2019encapsulation, mais comme une composante fonctionnelle. Il met en \u0153uvre des dimensions s\u2019\u00e9tendant du micron au millim\u00e8tre o\u00f9 existe un gap technologique et \u00e9conomique. D\u2019une part, les technologies planaires de la micro\u00e9lectronique sont on\u00e9reuses, surdimensionn\u00e9es et inapte \u00e0 traiter l\u2019\u00e9paisseur des mat\u00e9riaux. \u00c0 l\u2019oppos\u00e9, les m\u00e9thodes classiques de formage et d\u2019usinage de la mati\u00e8re atteignent leurs limites en de\u00e7\u00e0 du millim\u00e8tre. Dans ce contexte, le micro-usinage laser compl\u00e8te le portfolio des proc\u00e9d\u00e9s de microstructuration de la micro\u00e9lectronique en occupant le gap \u2018\u00b5m-mm\u2019. Cette \u00e9tude exp\u00e9rimentale montre comment l\u2019ablation laser permet l\u2019usinage en face arri\u00e8re de puces radiofr\u00e9quences dont la suspension en membrane d\u2019\u00e9paisseur ultime permet de r\u00e9duire les pertes et les effets non lin\u00e9aires associ\u00e9s au substrat porteur de silicium. Mise en \u0153uvre apr\u00e8s l\u2019ach\u00e8vement complet du flot de fabrication des circuits CMOS monolithiques, ce proc\u00e9d\u00e9 laser entre pleinement dans une logique de packaging fonctionnel.<\/p>\n<p>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514\">\n.av_font_icon.av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514{\ncolor:#800000;\nborder-color:#800000;\n}\n.av_font_icon.av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514 .av-icon-char{\nfont-size:20px;\nline-height:20px;\n}\n<\/style>\n<span  class='av_font_icon av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514 avia_animate_when_visible av-icon-style- avia-icon-pos-left avia-icon-animate'><span class='av-icon-char' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue810' data-av_iconfont='entypo-fontello' ><\/span><\/span><strong><span style=\"color: #800000;\">Des membranes suspendues qui boostent les performances RF\u00a0<\/span><\/strong><br \/>\nLa litt\u00e9rature rapporte de nouveaux cas d\u2019usage des techniques de micro-usinage femtoseconde du silicium pour diverses applications comme la microfluidique, le photovolta\u00efque, la caract\u00e9risation des circuits int\u00e9gr\u00e9s, le conditionnement de surfaces hydrophobes et la d\u00e9coupe au laser de puces micro\u00e9lectroniques sans gaspillage de surface active. Dans le cas pr\u00e9sent, l&rsquo;application a concern\u00e9 la fabrication de membranes suspendues de circuits\/fonctions RF SOI-CMOS sur des substrats SOI (Silicon-on-Insulator). Du point de vue \u00e9lectrique, malgr\u00e9 la pr\u00e9sence d&rsquo;une couche isolante (BOX), le substrat porteur d\u00e9grade les performances \u00e9lectriques car il offre un chemin de couplage parasite aux signaux RF. En retirant localement le substrat porteur sous la zone active des circuits sensibles, ceux-ci peuvent \u00eatre suspendus sous la forme d&rsquo;une membrane.<\/p>\n<\/div><\/section><\/div><\/p>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-1af2d8r-daea022b54bb3361022e69a66d592346\">\n.flex_column.av-1af2d8r-daea022b54bb3361022e69a66d592346{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-1af2d8r-daea022b54bb3361022e69a66d592346 av_one_half  avia-builder-el-10  el_after_av_one_half  el_before_av_one_full  flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwx9jk40-0850d78397a6d22ebaff431210944bdf'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p>\u00c0 cet endroit, l\u2019\u00e9paisseur de la couche active est ultime, ne conservant que le strict n\u00e9cessaire pour pr\u00e9server la fonction \u00e9lectronique initiale, \u00e0 savoir, les couches actives du transistor et de son r\u00e9seau d\u2019interconnexion. La motivation pour un tel proc\u00e9d\u00e9 de membranes a \u00e9t\u00e9 d&rsquo;obtenir des performances RF fortement am\u00e9lior\u00e9es par la r\u00e9duction des pertes dissipatives, la r\u00e9duction des non-lin\u00e9arit\u00e9s induites par le substrat et une r\u00e9duction du couplage capacitif parasite dans le composant ou entre composants (diaphonie). Ces trois facteurs d\u2019am\u00e9lioration ont un impact de premier plan sur le <em>front-end<\/em> des syst\u00e8mes de communication mobiles pour lesquels des sp\u00e9cifications de plus en plus exigeantes p\u00e8sent avec l\u2019extension des bandes de fr\u00e9quences jusqu\u2019\u00e0 6 GHz et dans le millim\u00e9trique (24-48 GHz).<\/p>\n<p>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514\">\n.av_font_icon.av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514{\ncolor:#800000;\nborder-color:#800000;\n}\n.av_font_icon.av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514 .av-icon-char{\nfont-size:20px;\nline-height:20px;\n}\n<\/style>\n<span  class='av_font_icon av-13ewzjw-a235a21bea60534439757d9f11956514 avia_animate_when_visible av-icon-style- avia-icon-pos-left avia-icon-animate'><span class='av-icon-char' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue810' data-av_iconfont='entypo-fontello' ><\/span><\/span>D\u2019un point de vue technologique, une \u00e9tape pr\u00e9alable d\u2019optimisation du proc\u00e9d\u00e9 d\u2019usinage laser a \u00e9t\u00e9 mise en \u0153uvre afin d\u2019obtenir un contr\u00f4le pr\u00e9cis du volume de mati\u00e8re enlev\u00e9e. C\u2019est l\u2019objet sp\u00e9cifique de l\u2019article r\u00e9f\u00e9renc\u00e9 dans ce commentaire. La strat\u00e9gie a consist\u00e9 \u00e0 \u00e9tudier syst\u00e9matiquement cinq param\u00e8tres caract\u00e9risant les propri\u00e9t\u00e9s d\u2019une tranch\u00e9e structur\u00e9e par un balayage de spot laser, \u00e0 savoir, sa profondeur, sa largeur, sa rugosit\u00e9 ainsi que la vitesse volumique d\u2019enl\u00e8vement de mati\u00e8re et le volume de r\u00e9sidus red\u00e9pos\u00e9s. D\u2019un point de vue fondamental, les travaux ont permis de mettre en exergue deux r\u00e9gimes d\u2019ablation, doux et fort, en fonction de la fluence (\u00e9nergie par unit\u00e9 de surface) du faisceau laser (Fig.1). La cadence de tir laser constitue un autre param\u00e8tre dont l\u2019impact est pr\u00e9pond\u00e9rant. Il a ainsi \u00e9t\u00e9 d\u00e9montr\u00e9 qu\u2019\u00e0 fluence identique une fr\u00e9quence de tir \u00e9lev\u00e9e (f=200kHz) nuit \u00e0 l\u2019efficacit\u00e9 d\u2019ablation et \u00e0 la qualit\u00e9 d\u2019usinage par rapport \u00e0 une fr\u00e9quence r\u00e9duite (f=30kHz). L\u2019explication de ce ph\u00e9nom\u00e8ne tient au fait que les \u00e9jectas de mati\u00e8re perturbent le faisceau incident \u00e0 cadence \u00e9lev\u00e9e (Fig.2). Les membranes suspendues associ\u00e9es \u00e0 diff\u00e9rents circuits RF sont pr\u00e9sent\u00e9es en Fig.3. Les gains de performances sont r\u00e9sum\u00e9s en Table 1 en r\u00e9f\u00e9rence \u00e0 un substrat silicium haute r\u00e9sistivit\u00e9. Parmi les r\u00e9sultats de tout premier ordre, on peut noter une r\u00e9jection am\u00e9lior\u00e9e de ~23 et ~8 dB du niveau de signal parasite des harmoniques 2 et 3. Un quasi-doublement du facteur de qualit\u00e9 (Q) est observ\u00e9 pour les inductances \u00e0 simple enroulement. L\u2019am\u00e9lioration du facteur de qualit\u00e9 dans ces proportions pr\u00e9sente un int\u00e9r\u00eat de premier plan pour les amplificateurs faible bruit (LNA) dont le facteur de bruit et la lin\u00e9arit\u00e9 (IIP3), deux figures de m\u00e9rite particuli\u00e8rement difficiles \u00e0 faire progresser, d\u00e9montrent une bonification de 0,1 dB et 0,5 dB, respectivement.<\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67\">\n@keyframes av_boxShadowEffect_av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67-column {\n0%   { box-shadow:  0 0 0 0 #a0a0a0; opacity: 1; }\n100% { box-shadow:  0 0 10px 0 #a0a0a0; opacity: 1; }\n}\n.flex_column.av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67{\nbox-shadow: 0 0 10px 0 #a0a0a0;\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67 av_one_full  avia-builder-el-13  el_after_av_one_half  el_before_av_one_full  first flex_column_div shadow-not-animated av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwxa24y6-0661efd8caa987fa2673d4ab782ea0df'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel6.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-48819 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel6.jpg\" alt=\"\" width=\"700\" height=\"319\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel6.jpg 700w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel6-300x137.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel6-18x8.jpg 18w\" sizes=\"auto, (max-width: 700px) 100vw, 700px\" \/><br \/>\n<\/a><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><em>Fig.1\u00a0: Profondeur moyenne de tranch\u00e9es usin\u00e9es par balayage laser dans l\u2019infrarouge (1030nm) en fonction de la fluence pour diff\u00e9rentes vitesses de balayage et deux cadences de tir (gauche) frep=30 kHz et (droite) frep=200 kHz.\u00a0 Les lignes en pointill\u00e9s mettent en \u00e9vidence les deux r\u00e9gimes d\u2019ablation ainsi que l\u2019\u00e9nergie de seuil. <\/em><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67\">\n@keyframes av_boxShadowEffect_av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67-column {\n0%   { box-shadow:  0 0 0 0 #a0a0a0; opacity: 1; }\n100% { box-shadow:  0 0 10px 0 #a0a0a0; opacity: 1; }\n}\n.flex_column.av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67{\nbox-shadow: 0 0 10px 0 #a0a0a0;\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-o5ihij-8da6e693e5cec960f445cdf2c4d4ef67 av_one_full  avia-builder-el-15  el_after_av_one_full  el_before_av_one_full  first flex_column_div shadow-not-animated av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwxa24y6-0661efd8caa987fa2673d4ab782ea0df'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel7.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-48820 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel7.jpg\" alt=\"\" width=\"700\" height=\"323\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel7.jpg 700w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel7-300x138.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel7-18x8.jpg 18w\" sizes=\"auto, (max-width: 700px) 100vw, 700px\" \/><\/a><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><em>Fig. 2\u00a0: Largeur de tranch\u00e9es usin\u00e9es par balayage laser dans l\u2019infrarouge (1030nm) en fonction de la fluence pour diff\u00e9rentes vitesses de balayage et deux cadences de tir (gauche) f<sub>rep<\/sub>=30 kHz et (droite) f<sub>rep<\/sub>=200 kHz. Une cadence \u00e9lev\u00e9e de tir d\u00e9grade l\u2019ouverture de tranch\u00e9e \u00e0 forte fluence \u00e0 cause de l\u2019interaction entre les \u00e9jectas de mati\u00e8re et le faisceau incident.<\/em><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-o5ihij-0475112fa834d680453de75806714378\">\n.flex_column.av-o5ihij-0475112fa834d680453de75806714378{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-o5ihij-0475112fa834d680453de75806714378 av_one_full  avia-builder-el-17  el_after_av_one_full  el_before_av_one_full  first flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwxa24y6-0661efd8caa987fa2673d4ab782ea0df'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p style=\"text-align: center;\"><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-48822 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5.jpg\" alt=\"\" width=\"800\" height=\"251\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5.jpg 800w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5-300x94.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5-768x241.jpg 768w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5-18x6.jpg 18w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel5-705x221.jpg 705w\" sizes=\"auto, (max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><\/a><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel7-1.jpg\"><br \/>\n<\/a><em>Fig. 3\u00a0: Images de microscopie optique de membranes suspendues par usinage en face arri\u00e8re du substrat de silicium. Les clich\u00e9s sont obtenus en mode de transparence par r\u00e9tro\u00e9clairage des membranes (a) Structure d&rsquo;isolation (b) Inductance (c) Commutateur RF.<\/em><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-o5ihij-0475112fa834d680453de75806714378\">\n.flex_column.av-o5ihij-0475112fa834d680453de75806714378{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-o5ihij-0475112fa834d680453de75806714378 av_one_full  avia-builder-el-19  el_after_av_one_full  el_before_av_textblock  first flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-kwxa24y6-0661efd8caa987fa2673d4ab782ea0df'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p style=\"text-align: center;\"><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-48825 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8.jpg\" alt=\"\" width=\"951\" height=\"451\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8.jpg 951w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8-300x142.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8-768x364.jpg 768w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8-18x9.jpg 18w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/visuel8-705x334.jpg 705w\" sizes=\"auto, (max-width: 951px) 100vw, 951px\" \/><\/a><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n<section  class='av_textblock_section av-kwxaltyd-870ae7394a5441247c146410777dc992'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><div  class='avia-button-wrap av-rpqvoq-94ab22d05756868102675b5baff3f7fd-wrap avia-button-left  avia-builder-el-22  avia-builder-el-no-sibling'><a href='mailto:emmanuel.dubois@iemn.fr'  class='avia-button av-rpqvoq-94ab22d05756868102675b5baff3f7fd av-link-btn avia-icon_select-yes-left-icon avia-size-small avia-position-left avia-color-silver'   aria-label=\"emmanuel.dubois@iemn.fr\"><span class='avia_button_icon avia_button_icon_left' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue805' data-av_iconfont='entypo-fontello'><\/span><span class='avia_iconbox_title' >emmanuel.dubois@iemn.fr<\/span><\/a><\/div>\n<\/div><\/section>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"","protected":false},"author":2,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[297],"tags":[],"class_list":["post-48811","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-newsletter"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/48811","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=48811"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/48811\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=48811"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=48811"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=48811"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}