{"id":46850,"date":"2021-07-19T13:58:22","date_gmt":"2021-07-19T11:58:22","guid":{"rendered":"https:\/\/www.iemn.fr\/?p=46850"},"modified":"2021-08-26T10:51:21","modified_gmt":"2021-08-26T08:51:21","slug":"capteurs-resonnants-passifs-tendances-et-perspectives-davenir","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/newsletter\/capteurs-resonnants-passifs-tendances-et-perspectives-davenir.html","title":{"rendered":"Capteurs r\u00e9sonnants passifs : Tendances et perspectives d\u2019avenir"},"content":{"rendered":"<div id='layer_slider_1'  class='avia-layerslider main_color avia-shadow  avia-builder-el-0  el_before_av_textblock  avia-builder-el-first  container_wrap sidebar_right'  style='height: 261px;'  ><div id=\"layerslider_40_woq4wlt8i2zd\" data-ls-slug=\"homepageslider\" class=\"ls-wp-container fitvidsignore ls-selectable\" style=\"width:1140px;height:260px;margin:0 auto;margin-bottom: 0px;\"><div class=\"ls-slide\" data-ls=\"bgposition:50% 50%;duration:6000;transition2d:5;\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"2600\" height=\"270\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1.jpg\" class=\"ls-bg\" alt=\"\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1.jpg 2600w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1-300x31.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1-768x80.jpg 768w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1-1030x107.jpg 1030w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1-1500x156.jpg 1500w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2018\/09\/sliders_carc1-705x73.jpg 705w\" sizes=\"auto, (max-width: 2600px) 100vw, 2600px\" \/><ls-layer style=\"font-size:14px;text-align:left;font-style:normal;text-decoration:none;text-transform:none;font-weight:700;letter-spacing:0px;background-position:0% 0%;background-repeat:no-repeat;mix-blend-mode:normal;top:231px;left:0px;height:30px;width:360px;line-height:32px;color:#ffffff;border-radius:6px 6px 6px 6px;padding-left:50px;background-color:rgba(0, 0, 0, 0.57);\" class=\"ls-l ls-ib-icon ls-text-layer\" data-ls=\"minfontsize:0;minmobilefontsize:0;\"><i class=\"fa fa-user-circle\" style=\"color:#f2f2f2;margin-right:0.8em;font-size:1em;transform:translateY( -0.125em );\"><\/i>RESEARCH GROUP: AIMAN-FILMS<\/ls-layer><\/div><\/div><\/div><div id='after_layer_slider_1'  class='main_color av_default_container_wrap container_wrap sidebar_right'  ><div class='container av-section-cont-open' ><div class='template-page content  av-content-small alpha units'><div class='post-entry post-entry-type-page post-entry-46850'><div class='entry-content-wrapper clearfix'>\n<section  class='av_textblock_section av-kralry1d-438ffa3bc261568007463af25625e5ee'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><h3 style=\"text-align: center;\">Capteurs r\u00e9sonnants passifs : Tendances et perspectives d\u2019avenir<\/h3>\n<\/div><\/section>\n<div  class='hr av-oomgiq-7355286e8861c69edf22a2b2b779ec0e hr-default  avia-builder-el-2  el_after_av_textblock  el_before_av_textblock'><span class='hr-inner'><span class=\"hr-inner-style\"><\/span><\/span><\/div>\n<section  class='av_textblock_section av-krak96w9-69850c2c2ec21741d52586d3cdba3c32'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><blockquote>\n<p><strong>Le choix du sujet s\u2019est port\u00e9 sur \u00ab\u00a0Passive Resonant Sensors : Trends and Future Prospects\u00a0\u00bb [1]. La revue se concentre sur les technologies qui exploitent le \u00ab\u00a0ph\u00e9nom\u00e8ne de r\u00e9sonance\u00a0\u00bb qui se produit avec tous les types d\u2019ondes : acoustiques, \u00e9lectromagn\u00e9tiques et optiques. Les capteurs consid\u00e9r\u00e9s comprennent des transducteurs acoustiques, magn\u00e9to-\u00e9lastiques et \u00e9lectromagn\u00e9tiques. Ils sont pr\u00e9sent\u00e9s \u00e0 travers leurs aspects technologiques pertinents et leurs principaux avantages, notamment leur int\u00e9grabilit\u00e9 dans les syst\u00e8mes embarqu\u00e9s et\/ou leur exigence d\u2019autonomie \u00e9nerg\u00e9tique. L\u2019utilisation de ces capteurs r\u00e9sonants est illustr\u00e9e dans une grande vari\u00e9t\u00e9 d\u2019applications (Fig. 1), allant de la surveillance de l\u2019environnement, des structures et des emballages alimentaires, \u00e0 des capteurs portables ou implant\u00e9s des param\u00e8tres physiologiques dans les applications li\u00e9es \u00e0 la sant\u00e9, \u00e0 l\u2019Internet des objets (IoT) et \u00e0 l\u2019industrie 4.0.<br \/>\n<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n<\/div><\/section>\n<section  class='av_textblock_section av-krakqjwa-a8a37bef6ebcb6c380fb62f50d9a7b08'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel1AT.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-46851 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel1AT.jpg\" alt=\"\" width=\"750\" height=\"470\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel1AT.jpg 750w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel1AT-300x188.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel1AT-16x10.jpg 16w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel1AT-705x442.jpg 705w\" sizes=\"auto, (max-width: 750px) 100vw, 750px\" \/><\/a><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><span style=\"color: #808000;\"><em>Fig 1. Sch\u00e9ma g\u00e9n\u00e9ral de l\u2019article de synth\u00e8se : Capteurs r\u00e9sonnants passifs, conceptions et applications.<\/em><\/span><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\">[1] H. Hallil <em>et al<\/em>., \u00ab\u00a0<a href=\"https:\/\/ieeexplore.ieee.org\/abstract\/document\/9376916\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">Passive Resonant Sensors: Trends and Future Prospects,\u00a0\u00bb in <em>IEEE Sensors Journal<\/em><\/a>, vol. 21, no. 11, pp. 12618-12632, 1 June, 2021, doi: 10.1109\/JSEN.2021.3065734.<\/p>\n<\/div><\/section>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-2vfzxe-8afea664b99f3d84c0ac46482b7c4e4b\">\n.flex_column.av-2vfzxe-8afea664b99f3d84c0ac46482b7c4e4b{\nborder-radius:4px 4px 4px 4px;\npadding:20px 20px 20px 20px;\nbackground-color:#d4eab6;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-2vfzxe-8afea664b99f3d84c0ac46482b7c4e4b av_one_full  avia-builder-el-5  el_after_av_textblock  el_before_av_one_half  first flex_column_div  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-krakstjy-01491cf7c27523b4c20671d5a8166409'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p><strong>Le groupe AIMAN-FILMS de l\u2019IEMN travaille depuis plus de quinze ans sur le d\u00e9veloppement de technologies de capteurs ultrasensibles permettant de pousser les limites de d\u00e9tection en terme de r\u00e9solution. L\u2019article de synth\u00e8se met en \u00e9vidence les principaux r\u00e9sultats obtenus sur les technologies de capteurs de champ magn\u00e9tique \u00e0 base de MEMS r\u00e9sonants exploitant le couplage magn\u00e9to\u00e9lectrique dans des structures composites \u00e0 base de films minces magn\u00e9to-\u00e9lastiques\/pi\u00e9zo\u00e9lectriques, le couplage magn\u00e9to-\u00e9lastique dans les guides \u00e0 ondes \u00e9lastiques de surface fonctionnalis\u00e9s par des couches minces magn\u00e9to-\u00e9lastiques nano-structur\u00e9es. Les capteurs de temp\u00e9rature et de contraintes exploitant les ondes de surface ou les ondes \u00e9lastiques guid\u00e9es pour permettre un fonctionnement en environnements difficiles. Des capteurs de grandeurs physiques ou biochimiques exploitant le design d\u2019une cavit\u00e9 r\u00e9sonante bas\u00e9 sur le concept des bandes interdites phononiques et les modes de d\u00e9fauts quasi-plats qui en d\u00e9coulent.<\/strong><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-1w1vg5e-baa3102336d6e1aaad4b6f47084a694e\">\n.flex_column.av-1w1vg5e-baa3102336d6e1aaad4b6f47084a694e{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-1w1vg5e-baa3102336d6e1aaad4b6f47084a694e av_one_half  avia-builder-el-7  el_after_av_one_full  el_before_av_one_half  first flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-krakw5v4-b9b4513461261315e961376e0713f386'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><h4>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70\">\n.av_font_icon.av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70{\ncolor:#669933;\nborder-color:#669933;\n}\n.av_font_icon.av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70 .av-icon-char{\nfont-size:50px;\nline-height:50px;\n}\n<\/style>\n<span  class='av_font_icon av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70 avia_animate_when_visible av-icon-style- avia-icon-pos-left avia-icon-animate'><span class='av-icon-char' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue885' data-av_iconfont='entypo-fontello' ><\/span><\/span><\/h4>\n<p><strong><span style=\"color: #669933;\">1)\u00a0 Des designs de capteurs de champ magn\u00e9tique bas\u00e9s sur les effets magn\u00e9to\u00e9lectriques et magn\u00e9to-\u00e9lastiques ont \u00e9t\u00e9 propos\u00e9s en 2007 et 2020.<\/span><br \/>\nDes couplages multi-physiques g\u00e9ants ont \u00e9t\u00e9 obtenus au voisinage d\u2019un \u00e9tat critique appel\u00e9 Transition de R\u00e9orientation de Spin (SRT).\u00a0 Un coefficient magn\u00e9to\u00e9lectrique de 40 V\/(cm.Oe) a \u00e9t\u00e9 rapport\u00e9 en 2007 en utilisant pour la premi\u00e8re fois un cantilever MEMS composite Film\/Film constitu\u00e9 d\u2019une couche de (FeCo-TbCo)n nanostructur\u00e9e d\u00e9pos\u00e9e sur une couche de nitrure d\u2019aluminium AlN pi\u00e9zo\u00e9lectrique [2].<\/strong><\/p>\n<p><strong>En 2020, nous avons propos\u00e9 un design de capteur de champ magn\u00e9tique exploitant l\u2019interaction d\u2019une onde de surface transversale avec un film mince magn\u00e9to-\u00e9lastique nanostructur\u00e9. La couche magn\u00e9to-\u00e9lastique permet de guider et de confiner l\u2019onde de surface transversale horizontale excit\u00e9e \u00e0 la surface d\u2019un substrat pi\u00e9zo\u00e9lectrique tel que le Quartz. Ce design permet d\u2019atteindre la valeur intrins\u00e8que de la sensibilit\u00e9 au champ magn\u00e9tique d\u2019un film mince magn\u00e9to-\u00e9lastique avec une modulation de l\u2019ordre de 3% de la vitesse de propagation. Cette valeur d\u00e9finit l\u2019\u00e9tat de l\u2019art des capteurs de champ magn\u00e9tique bas\u00e9s sur l\u2019utilisation de ce m\u00e9canisme de d\u00e9tection [3].<\/strong><\/p>\n<p><strong>Ces solutions sont tr\u00e8s prometteuses pour certains probl\u00e8mes de diagnostic m\u00e9dical, en particulier ceux qui exploitent des signaux biomagn\u00e9tiques : la magn\u00e9toenc\u00e9phalographie (MEG) et la magn\u00e9to-cardiographie (MCG).<\/strong><\/p>\n<p>[2] Tiercelin et al., \u201cMagnetoelectric effect near spin reorientation transition in giant magnetostrictive-aluminum nitride thin film structure,\u201d Appl. Phys. Lett., vol. 93, no. 16, Oct. 2008, Art. no. 162902, doi:10.1063\/1.3001601.<\/p>\n<p>[3] A. Mazzamurroet al., \u201cGiant magnetoelastic coupling in alove acoustic waveguide based onTbCo2\/FeCo nanostructured film on ST-cut quartz\u201d, Phys. Rev. Applied., vol. 13, no. 4, Apr. 2020, Art. no. 044001, doi:10.1103\/PhysRevApplied.13.044001.<\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-1pwe742-812dd9b1ad75ef960e04fc2c3e3b1b02\">\n.flex_column.av-1pwe742-812dd9b1ad75ef960e04fc2c3e3b1b02{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-1pwe742-812dd9b1ad75ef960e04fc2c3e3b1b02 av_one_half  avia-builder-el-10  el_after_av_one_half  el_before_av_one_half  flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-krakw5v4-b9b4513461261315e961376e0713f386'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p style=\"text-align: center;\"><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel2AT.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-46856 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel2AT.jpg\" alt=\"\" width=\"700\" height=\"250\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel2AT.jpg 700w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel2AT-300x107.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel2AT-16x6.jpg 16w\" sizes=\"auto, (max-width: 700px) 100vw, 700px\" \/><\/a><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><span style=\"color: #808000;\"><em>Fig 2. Dispositifs \u00e0 ondes \u00e9lastiques de surface transverses horizontales fonctionnalis\u00e9s avec un film mince multicouche TbCo<sub>2<\/sub>\/FeCo (\u00e0 gauche). Image de microscopie \u00e9lectronique \u00e0 transmission \u00e0 balayage du film mince multicouche nanostructur\u00e9 TbCo<sub>2<\/sub>\/FeCo (\u00e9paisseur totale : 200 nm).<\/em><\/span><\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel3AT.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-46859 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel3AT.jpg\" alt=\"\" width=\"552\" height=\"498\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel3AT.jpg 552w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel3AT-300x271.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel3AT-13x12.jpg 13w\" sizes=\"auto, (max-width: 552px) 100vw, 552px\" \/><\/a><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><span style=\"color: #808000;\"><em>Fig 3. Couplage magn\u00e9to-\u00e9lastique g\u00e9ant 2.5% obtenu avec un film mince multicouche TbCo<sub>2<\/sub>\/FeCo combin\u00e9 \u00e0 une onde de cisaillement de surface pure sur un substrat de quartz \u00e0 1.2 GHz<\/em><\/span><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-15xnpmq-3a2ae9eb7192285384d628db5f93c97a\">\n.flex_column.av-15xnpmq-3a2ae9eb7192285384d628db5f93c97a{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-15xnpmq-3a2ae9eb7192285384d628db5f93c97a av_one_half  avia-builder-el-12  el_after_av_one_half  el_before_av_one_half  first flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-krakw5v4-b9b4513461261315e961376e0713f386'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><p style=\"text-align: center;\"><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel4AT.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-46857 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel4AT.jpg\" alt=\"\" width=\"695\" height=\"271\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel4AT.jpg 695w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel4AT-300x117.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel4AT-16x6.jpg 16w\" sizes=\"auto, (max-width: 695px) 100vw, 695px\" \/><\/a><a href=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel5AT.jpg\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-46858 size-full\" src=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel5AT.jpg\" alt=\"\" width=\"461\" height=\"291\" srcset=\"https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel5AT.jpg 461w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel5AT-300x189.jpg 300w, https:\/\/www.iemn.fr\/wp-content\/uploads\/2021\/07\/visuel5AT-16x10.jpg 16w\" sizes=\"auto, (max-width: 461px) 100vw, 461px\" \/><\/a><\/p>\n<p style=\"text-align: center;\"><span style=\"color: #808000;\"><em>Fig. 4. a) Repr\u00e9sentation d\u2019un guide d\u2019ondes avec un r\u00e9sonateur de cavit\u00e9 constitu\u00e9 de nanomat\u00e9riaux ici l\u2019Or comme couche de recouvrement.<br \/>\nb) Mode de galerie de chuchotement localis\u00e9 dans la couche de recouvrement.<br \/>\nc) Conception d\u2019un d\u00e9multiplexeur bas\u00e9 sur la r\u00e9sonance locale de la couche de recouvrement.<\/em><\/span><\/p>\n<p>[5] Moutaouekkil et al., \u201cHighly confined radial contour modes in phononic crystal plate based on pillars with cap layers,\u201d J. Appl. Phys., vol. 126, no. 5, Aug. 2019, Art. no. 055101;<\/p>\n<p>[6] M Moutaouekkil al., Acoustic isolation of disc\u2010shaped modes using periodic corrugated plate\u2010based phononic crystal, Electronics Letters 54 (5), 2018, 301-303.<\/p>\n<div  class='avia-button-wrap av-rpqvoq-3ceef33156ab21f00e9fd3e8e7b75838-wrap avia-button-left  avia-builder-el-14  avia-builder-el-no-sibling'><a href='mailto:abdelkrim.talbi@univ-lille.fr'  class='avia-button av-rpqvoq-3ceef33156ab21f00e9fd3e8e7b75838 av-link-btn avia-icon_select-yes-left-icon avia-size-small avia-position-left avia-color-silver'   aria-label=\"abdelkrim.talbi@univ-lille.fr\"><span class='avia_button_icon avia_button_icon_left' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue805' data-av_iconfont='entypo-fontello'><\/span><span class='avia_iconbox_title' >abdelkrim.talbi@univ-lille.fr<\/span><\/a><\/div>\n<\/div><\/section><\/div>\n\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-ninede-c3504b6b877009183ff18540512c548b\">\n.flex_column.av-ninede-c3504b6b877009183ff18540512c548b{\nborder-radius:0px 0px 0px 0px;\npadding:0px 0px 0px 0px;\n}\n<\/style>\n<div  class='flex_column av-ninede-c3504b6b877009183ff18540512c548b av_one_half  avia-builder-el-15  el_after_av_one_half  avia-builder-el-last  flex_column_div av-zero-column-padding  column-top-margin'     ><section  class='av_textblock_section av-krakw5v4-b9b4513461261315e961376e0713f386'   itemscope=\"itemscope\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/BlogPosting\" itemprop=\"blogPost\" ><div class='avia_textblock'  itemprop=\"text\" ><h4>\n<style type=\"text\/css\" data-created_by=\"avia_inline_auto\" id=\"style-css-av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70\">\n.av_font_icon.av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70{\ncolor:#669933;\nborder-color:#669933;\n}\n.av_font_icon.av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70 .av-icon-char{\nfont-size:50px;\nline-height:50px;\n}\n<\/style>\n<span  class='av_font_icon av-13ewzjw-c7a37b4dfac2f0b56aaa5aeedc1e2c70 avia_animate_when_visible av-icon-style- avia-icon-pos-left avia-icon-animate'><span class='av-icon-char' aria-hidden='true' data-av_icon='\ue885' data-av_iconfont='entypo-fontello' ><\/span><\/span><\/h4>\n<p><strong><span style=\"color: #669933;\">2)\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 Les r\u00e9sonateurs \u00e0 ondes acoustiques sont des candidats tr\u00e8s prometteurs pour la d\u00e9tection chimique et biologique gravim\u00e9trique.<\/span><br \/>\nDans l\u2019objectif de pousser la limite de d\u00e9tection des syst\u00e8mes actuel en terme de r\u00e9solution, le groupe AIMAN-FILMs et l\u2019\u00e9quipe Ephoni du groupe Physique collaborent ensemble pour exploiter le potentiel des cristaux et m\u00e9ta-mat\u00e9riaux phononiques pour le design de r\u00e9sonateur MEMS avec un minimum de dissipation vers la structure support. Cela permet d\u2019am\u00e9liorer drastiquement le facteur de qualit\u00e9 du r\u00e9sonateur. Plusieurs designs exploitant les modes \u00e9lastiques de surface ou de plaques dans des mat\u00e9riaux pi\u00e9zo\u00e9lectriques combin\u00e9s \u00e0 un cristal phononique de surface (SPnC) bidimensionnel (2D) ont \u00e9t\u00e9 propos\u00e9s. Le cristal est constitu\u00e9 de r\u00e9sonateurs m\u00e9caniques p\u00e9riodiques tels que des piliers ou des trous perc\u00e9s \u00e0 la surface du mat\u00e9riau. Les designs propos\u00e9s permettent de r\u00e9aliser des fonctions avanc\u00e9es bas\u00e9s sur le control de la propagation de l\u2019onde \u00e9lastique : confinement sous-longueur d\u2019onde, guidage de l\u2019onde, fonction de d\u00e9multiplexage.<\/strong><\/p>\n<p><strong>Les designs que nous avons propos\u00e9s exploitent les modes de d\u00e9faut quasi-plat situ\u00e9s dans la bande interdite d\u2019un cristal phononique. Les designs mis en avant dans ce papier de synth\u00e8se ont \u00e9t\u00e9 d\u00e9velopp\u00e9s dans le cadre de la th\u00e8se de Mohammed Moutaouekkil et ont fait l\u2019objet de deux publications en 2018 et 2019 [4-5]. Le cristal phononique est constitu\u00e9 d\u2019une plaque micro-structur\u00e9e en surface sous forme de rubans ou sous forme de piliers, cela permet d\u2019obtenir une large band interdite. Les modes de d\u00e9faut sont introduits en d\u00e9posant sur la surface des rubans ou des piliers un disque d\u2019or d\u2019\u00e9paisseur nanom\u00e9trique (Figure 4).<\/strong><\/p>\n<p><strong>Ces solutions sont tr\u00e8s prometteuses pour le design de capteurs gravim\u00e9triques avec un seuil de d\u00e9tection pouvant atteindre l\u2019attogram. En effet le design permet de confiner l\u2019onde \u00e9lastique \u00e0 l\u2019\u00e9chelle nanom\u00e9trique et par cons\u00e9quence de r\u00e9duire la masse du r\u00e9sonateur pour la rendre comparable avec la masse des objets \u00e0 d\u00e9tecter.<\/strong><\/p>\n<p><strong>Le SPnC peut \u00e9galement \u00eatre utilis\u00e9 pour ralentir de mani\u00e8re significative la vitesse des ondes acoustiques en se basant sur les ph\u00e9nom\u00e8nes de r\u00e9sonance locale et, par cons\u00e9quent, limiter le rayonnement acoustique vers les milieux environnants, notamment en cas de contact avec un liquide.<\/strong><\/p>\n<\/div><\/section><\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"","protected":false},"author":2,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[297],"tags":[],"class_list":["post-46850","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-newsletter"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/46850","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=46850"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/46850\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=46850"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=46850"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.iemn.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=46850"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}