• Annuaire
  • Localisation
  • Publications
  • Intranet
  • Réservations
  • Français Français French fr
  • English English English en
IEMN
  • Accueil
  • Actualités
    • A la Une
    • IRMMW-THz 2019 Student Workshop
    • Toutes les actualités
    • Les sujets de thèse 2019
    • Offres de stage de Master2 2018-2019
    • Les offres d’emplois
    • La revue de presse
  • L’institut
    • Présentation
    • Organisation de l’institut
    • La direction scientifique
    • La direction technique
    • La direction administrative et financière
  • La Recherche
    • Les départements scientifiques
      • Matériaux et Nanostructures
      • Micro et nanosystèmes
      • Micro/nano et optoélectronique
      • Systèmes de communication et application micro-ondes
      • Acoustique
    • Les groupes de recherche
      • Groupe : ACOUSTIQUE
      • Groupe : AIMAN-FILMS
      • Groupe : ANODE
      • Groupe : BioMEMS
      • Groupe : CARBON
      • Groupe : CSAM
      • Groupe : COMNUM
      • Groupe : DOME
      • Groupe : EPIPHY
      • Groupe : MAMINA
      • Groupe : MICROELEC SI
      • Groupe : MITEC
      • Groupe : NCM
      • Groupe : NAM6
      • Groupe: NBI
      • Groupe : OPTO
      • Groupe : PHOTONIQUE THz
      • Groupe : PHYSIQUE
      • Groupe : PUISSANCE
      • Groupe : SILPHYDE
      • Groupe : TELICE
      • Groupe : TPIA
    • Publications
    • Dossier quadriennal
  • Les Plates-Formes
    • Plate-forme Centrale de Micro Nano Fabrication (CMNF)
    • Plate-forme Caractérisation Haute Fréquence
    • Plate-forme Microscopie Champ Proche
    • Plate-forme Compatibilité Electro Magnétique
    • Plate-forme Systèmes de communications avancées « SigmaCOM »
    • Prestations proposées par nos plates-formes
  • Partenariat – Valorisation
    • Les Collaborations Académiques
    • Projets européens
    • Principales collaborations internationales
    • Les partenariats industriels
    • Les laboratoires communs IEMN-Industrie
    • Les Start-up
    • LICS-LEMAC
  • La Formation
    • IRMMW-THz 2019 Student Workshop
    • La formation par et pour la recherche
      • Master Réseaux et Télécommunications
      • MRT à distance
      • Master de Physique biologique et médicale
      • Masters DOAE adossés à l’ISTV
      • Ecoles d’ingénieur
      • La Licence Professionnelle Métrologie
      • Nano-Ecole
    • Les études doctorales à l’IEMN
    • Offres de stage de Master2 2018-2019
    • Les sujets de thèse 2019
    • Différents financements de thèse
    • Soutenances
      • Soutenances 2018
      • Soutenances 2017
      • Soutenances 2016
      • Soutenances 2015
      • Soutenances 2014
      • Soutenances 2013
    • Après la Thèse de Doctorat
      • Faire un post-doc à l’IEMN
      • FOCUS sur un ingénieur SATT issu de l’IEMN
      • Vers le monde des entreprises et de l’industrie
      • Devenir Enseignant-Chercheur
      • Devenir Chercheur
      • Créer son entreprise
  • Search
  • Menu

Litography

E beam litography

Litographie électronique

Optical litography

Litographie optique

  • Objectives
  • Organization
  • Facilities
    • Caracterisations
      • Package
    • Litography
      • Electron beam lithography
      • Optical litography
    • Growth and deposition of thin layer
      • Atomic layer deposition
      • Gas-source molecular beam epitaxy
      • Hot process LP-CVD
      • Ionic implantation
      • Metalic deposition
      • Molecular beam epitaxy
      • Organic layer deposition, synthesis
      • PE-CVD cold process
      • Solid-source molecular beam epitaxy
    • Etching
      • Dry etching : Chemical
      • #896 (no title)
      • Dry Etching : Plasmas

Tags

BIOMEMS cancer CNRS conference Excelsior IEMN Japon LEAF rf-sensors Seminar SMMIL-E Séminaire
Followon TwitterSubscribeto RSS Feed

IEMN – Laboratoire Central de l’Institut

Cité Scientifique
Avenue Henri Poincaré
CS 60069
59 652 Villeneuve d'Ascq Cedex, France

+33 (0)3 20 19 79 79

Derniers articles

  • Les mardis de l’Innovation : L’enjeu global du stockage de l’énergie3 April 2018 - 9 h 00 min
  • IEMN : CS Industry Award30 March 2018 - 14 h 55 min
  • Séminaire : RF-Sensors in Advanced Applications12 April 2018 - 15 h 20 min
  • Séminaire : Innovative Colloidal Nanostructures: Nanoplatelets and III-V Quantum Dots5 April 2018 - 15 h 09 min
  • Séminaire : Molecular spin coupling at the tip of a STM26 March 2018 - 15 h 35 min

Horaires de l’accueil du Laboratoire Central

Lundi - Jeudi: 8:30 à 12:00 | 13:30 à 16:30
Vendredi: 8:30 à 12:00 | 13:30 à 16:00
Samedi - Dimanche: Fermé

Pôle SISR - powered by Enfold WordPress Theme
  • Plan du site
  • Localisation
  • Visite
  • Publications
  • Intranet
  • Contact
  • Mentions légales
  • Politique de confidentialité
Scroll to top