La centrale possède 2 bancs sous pointes pour des caractérisations électriques en cours de procédés. Ces instruments permettent de mesurer différents paramètres électriques des composants dans une gamme de +/-200V pour la tension et de quelques nA à 1.5A pour le courant. Une fonction en mode pulsé est également disponible. Situés en salle blanche, ces équipements sont accessibles à tous.

– Mesures 4 pointes de résistance de contact

– Caractérisation I-V de transistors

– Mesure de diodes Schottky   directe et inverse

– Mesure de résistivité

Un système HL 5500 PC permet aussi de réaliser des mesures d’effet Hall de la température de l’azote liquide (77K) jusqu’à 600°C. Equipé de quatre micro-manipulateurs et d’un champ magnétique permanent de 0.32 Tesla, il permet la mesure de la résistance carré sur des trèfles de van der Pauw ainsi que la mesure de densité et la mobilité des porteurs.

– Calibration des dopages n et p

– Mesure des dopages résiduels

– Qualité des gaz d’électrons dans les structures HEMTs

 
Caractérisation 4 pointes