Centrale de Micro Nano Fabrication

La plate-forme de MicroNanofabrication s’étend sur 1600m² de salle blanche certifiés ISO6 et 260m² supplémentaires dédiés au back-end. La centrale dispose d’une large palette d’équipements allant des basiques de l’industrie du semi-conducteur aux équipements de pointe en micro-nanofabrication.

Historiquement conçue pour le développement de composants dans le domaine de l’électronique principalement, la salle blanche de l’IEMN a aujourd’hui acquis une renommée d’une autre envergure : une plate-forme multidisciplinaire à l’état de l’art pour la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les bioMEMs, la photonique ou l’acoustique. Riche d’une équipe de 24 ingénieurs et techniciens qualifiés travaillant en étroite collaboration avec chercheurs, doctorants et post-doctorants, la centrale permet d’explorer les projets les plus ambitieux offerts par les micro et nanotechnologies.

La mission principale de la CMNF est d’être le support technologique de l’ensemble des équipes de recherche de l’Institut. De plus, l’IEMN en tant que membre actif de RENATECH (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication) permet d’accueillir les projets extérieurs via une « cellule d’accueil projets ». La CMNF ambitionne ainsi de rester à la pointe de la technologie et de mettre à profit son infrastructure et son expertise au service des projets du laboratoire mais également d’entreprises et institutions extérieures.

Contact: Bertrand Grimbert, Responsable de la Centrale de Micro Nanofabrication

Mots clésSalle blanche (ISO6), réseau Renatech, micro-nanofabrication, nanotechnologies, recherche technologique, composants, semiconducteurs…

Domaines applicatifs: nanoélectronique, énergie, photonique, électronique flexible, MEMs, microfluidique, interfaces nanobio, optoélectronique, puissance…